為了消除激光打標機(www.51fission.net)系統(tǒng)中由2維振鏡物鏡前掃描引起的打標點幾何畸變誤差,分析誤差產(chǎn)生的原因,在振鏡掃描角度(α,β)理想計算公式的基礎(chǔ)上,采用小二乘曲線擬合的方法,得到用打標點坐標(x,y)表示的補償(α,β)誤差的擬合多項式,從而對激光打標點的畸變誤差進行了校正。
通過校正,可以將激光打標點的大幾何畸變誤差由3.2mm降至20μm以內(nèi),且計算量小、速度快。結(jié)果表明,該誤差校正算法可以滿足高速、高精度激光打標的需要;同時可通過改變物鏡焦距計算出新的補償公式,以應(yīng)用于不同參量的激光打標系統(tǒng)。