如今人們對(duì)微細(xì)孔加工技術(shù)的要求越來(lái)越高，無(wú)論打任何材料都希望快速打出精細(xì)、孔徑統(tǒng)一、光滑無(wú)毛刺并且不損傷材料的效果。因此促進(jìn)了超短脈沖激光在微孔加工中的應(yīng)用，如皮秒、飛秒激光器的出現(xiàn)，大大提高了激光微孔加工的精度，同時(shí)減小了激光加工后材料的熱影響區(qū)，特別是飛秒激光器技術(shù)的發(fā)展，為微孔加工提供了新的工業(yè)應(yīng)用選擇。
深圳市家家用激光設(shè)備有限公司研究者發(fā)現(xiàn)，激光加工工藝參數(shù)對(duì)于加工質(zhì)量、效率、成本等有重要的影響。其中脈沖能量、脈沖個(gè)數(shù)、打孔方式以及材料特性等條件直接影響加工微孔的尺寸精度以及形狀精度。
此外，脈寬決定了單個(gè)脈沖與材料作用的時(shí)間，也是影響微孔加工的重要因素。隨著微孔質(zhì)量要求的不斷提高，將激光進(jìn)行時(shí)域整形以提高微孔的深徑比，已成為了現(xiàn)代激光科技研究的重點(diǎn)。通常隨著脈沖寬度降低，熱效應(yīng)減小，加工精度被極大提高。
不僅如此，激光加工微孔方式也會(huì)對(duì)加工微孔的類(lèi)型、尺寸有很大影響。
激光加工微孔方式主要分為單脈沖加工、多脈沖加工、環(huán)切加工和螺旋打孔4 類(lèi)。單脈沖加工是飛秒激光發(fā)射單個(gè)脈沖打在加工材料，直接形成所需微孔，這種微孔加工方法效率極高，每秒可形成上千個(gè)孔。但單個(gè)脈沖去除量有限，適合加工較薄材料或深度較小的盲孔。對(duì)于深度較大孔或是反射率較大的加工材料，利用單脈沖激光難以加工出質(zhì)量可靠的微孔。因此，需要多個(gè)脈沖的連續(xù)作用才能使得微孔深度不斷增加，即所謂的多脈沖加工。將微孔加工與激光線切割結(jié)合后形成環(huán)切加工。另外，螺旋打孔是將環(huán)切加工與深度方向的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)相結(jié)合，能夠加工出直徑較大的深孔。飛秒激光脈沖序列也被證明可以有效地加工非金屬材料的高深徑比微孔。
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